- La plateforme Iris 100 de Teradyne, destinée au test en production de dispositifs MicroLED, réalise des mesures optiques au niveau du semi-conducteur et peut être intégré à la plateforme de test électrique UltraFLEXplus du fabricant.
- Ce système de test est conçu pour caractériser individuellement les émetteurs d’un réseau de MicroLED, notamment dans le cadre de la fabrication de micro-écrans pour la réalité augmentée et d’interconnexions optiques destinées aux centres de données.
Les dispositifs MicroLED peuvent regrouper de plusieurs centaines de milliers à plusieurs millions d’émetteurs individuels. Leur fabrication nécessite donc de pouvoir détecter les défauts affectant chaque pixel ou émetteur, tout en maintenant un temps de test compatible avec les volumes de production.
Le système de test Iris 100 associe un spectromètre et une caméra haute résolution pour effectuer plusieurs types de mesures optiques. Le système caractérise notamment la réponse spectrale du réseau, ainsi que la luminance et l’uniformité de chaque pixel. Les mesures peuvent être réalisées sur l’ensemble d’un réseau comportant plusieurs millions de MicroLED.
Le système met également en œuvre une parallélisation des tests et des algorithmes de traitement d’image. Selon Teradyne, cette architecture permet d’analyser les réseaux dans un contexte de production, plutôt que d’avoir recours à des instruments de laboratoire dont le débit de mesure n’est pas nécessairement adapté à ces volumes.
Détection des défauts optiques
Le logiciel IG-XL de Teradyne est utilisé pour piloter et traiter les séquences de test. La plateforme Iris 100 doit notamment permettre d’identifier des défauts tels que des pixels qui n’émettent pas de lumière, des pixels restant allumés ou des défauts affectant des groupes de pixels adjacents.
Le système peut être utilisé dès les étapes de fabrication sur wafer. Les informations obtenues peuvent ainsi contribuer à identifier des défauts de fabrication avant les opérations ultérieures d’assemblage ou de conditionnement. Il permet également de réaliser des tests finaux des dispositifs.
Le système dispose par ailleurs d’un processus d’étalonnage traçable selon les normes du National Institute of Standards and Technology (NIST). Teradyne indique que cette approche permet d’effectuer des mesures absolues et de comparer les résultats entre différents lots, wafers et sites de production.
Une plateforme commune pour les tests optiques et électriques
La plateforme Iris 100 peut être associée à la solution UltraFLEXplus afin de combiner les tests optiques et électriques dans un même environnement de production. Cette intégration permet aux fabricants disposant déjà de systèmes UltraFLEXplus d’ajouter le test des MicroLED à leur infrastructure existante.
Cette approche vise notamment deux principaux domaines d’application : les micro-écrans destinés à la réalité augmentée et les interconnexions optiques utilisées dans les infrastructures de calcul et de communication des centres de données.
Teradyne indique également prévoir l’évolution d’Iris 100 pour prendre en charge le test de photodétecteurs dans la même configuration de test. Le lancement intervient après celui du système Photon 100, destiné au test de la photonique sur silicium et des optiques co-packagées, ainsi que l’acquisition en 2025 de Quantifi Photonics, société spécialisée dans les équipements de test photonique.
