- Wooptix a annoncé l’installation de son système de métrologie Phemet® au sein du CEA-Leti, à Grenoble.
- Mise en service le 4 mai 2026, cette plateforme sera utilisée dans le cadre d’une collaboration portant sur la caractérisation des signatures de procédé à l’échelle du wafer, la mesure de la nanotopographie et la métrologie dédiée au packaging avancé, en environnement de salle blanche pour la fabrication de semi-conducteurs.
L’accord de collaboration a été présenté lors des CEA-Leti Innovation Days/LID World Summit, organisés du 23 au 25 juin 2026 à Grenoble.
Cette installation constitue le premier déploiement du système Phemet® dans un contexte de production pour Wooptix. Les travaux menés avec le CEA-Leti doivent permettre d’évaluer la technologie sur des procédés représentatifs de la fabrication de semi-conducteurs et d’explorer de nouveaux cas d’usage liés au contrôle des procédés.
Selon José Manuel Ramos, directeur général de Wooptix, cette collaboration doit contribuer à valider le fonctionnement du système en environnement industriel et à développer des applications répondant à des problématiques de développement de procédés.
De son côté, Viorel Balan, Collaboration Project Manager au CEA-Leti, indique que le centre de recherche évaluera les capacités de la première plateforme Phemet® automatisée compatible avec les wafers de 300 mm. Les travaux porteront notamment sur la métrologie de la nanotopographie, le soutien à des projets de recherche européens et le développement de technologies de packaging avancé.
Mesure de la géométrie et de la forme des wafers
Présenté en novembre 2025, le système Phemet® est destiné à la mesure de la géométrie et de la forme des wafers. Il repose sur la technologie Wavefront Phase Imaging (WFPI), issue des travaux menés en optique adaptative pour l’astronomie. Selon Wooptix, cette technologie permet des mesures avec une résolution inférieure au nanomètre et des temps d’acquisition adaptés aux applications de contrôle des procédés de fabrication.
Fondée en Espagne, Wooptix développe des systèmes de métrologie pour l’industrie des semi-conducteurs basés sur la technologie WFPI. L’entreprise dispose de bureaux à Tenerife, Madrid et Grenoble.
